MEB

Microscopie Electronique à Balayage MEB

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  • PHENOM G2 PRO de chez Thermofisher, localisé sur le plateau technique IMAC (Angers)
  • Emission : LAB6, 5 keV (point), 10 keV (image), porte-objet conventionnel et unité de refroidissement contrôlée en température de -25°C à 50°C
  • Détection par électrons rétro-diffusés (BSD), caméra CCD couleur 2048 x 2048 pixels (grandissement 20X - 120X), résolution minimale 25 nm, grandissement de 80X à 45 000X.
  • Paramétrage et pilotage du MEB via écran tactile.
    Deuxième ordinateur connecté au microscope (PHENOM Application System PRO SUITE), grandes images de type mosaïque en xy (Automated Image Mapping), mesures précises (Measure IT), Contrôle à distance (Option Remote UI, grandissement, focus, brillance et navigation)
  • contact : Fabienne Simonneau
  • Quattro S de chez FEI, localisé sur la plateforme BIBS de BIA (Nantes)
  • Emission : canon à électron (FEG), vide conventionnel HV, pression contrôlée LV jusqu'à 200 Pa ou mode environnemental jusqu'à 4000 Pa
  • Détection : électrons rétrodiffusés (BSD) et électrons secondaires (SE). Détecteur dispersif en énergie et d'une source de rayons X
  • contact : Bruno Novales
  • SIGMA-HD-VP de chez Zeiss, localisé sur la plateforme SilvaTech (Champenoux -Nancy)
  • Emission : Canon à électrons (FEG), 0,5 à 30 kV, vide conventionnel HV et pression contrôlée < 400 Pa, porte-objet conventionnel, module de cryo-préparation et cryo-observation (-120 °C) et platine à effet Peltier (-50°C/+50°C), porte-objet et logiciel corrélatif
  • Détection par électrons rétrodiffusés (BSD), électrons secondaires (SE) dont "in-lens" (SEI), transmission en balayage (STEM) et en pression variable d'électron secondaire (VPSE). Spectromètre sélectif en énergie (EDS) SDD 80 mm²
  • Logiciel d'assemblage des images
  • contact : Christophe Rose
  • SU5000 de chez Hitachi, localisé sur la plateforme MIMA2 (Jouy-en-Josas)
  • Emission : Canon à électrons (FEG), 0,1 à 30 kV, sous pression contrôlée <400 Pa, porte-objet conventionnel et autre
  • Détection par électrons rétro-diffusés (BSD), électrons secondaires (SE) et électrons secondaires "in-lens" (SEI)
  • Équipé pour la microscopie électronique en transmission à balayage (STEM)
  • contact : Thierry Meylheuc
  • S4500 de chez Hitachi, localisé sur la plateforme MIMA2 (Jouy-en-Josas)
  • Emission : Canon à électrons (FEG), 0,5 à 30 kV, vide conventionnel HV, porte-objet conventionnel
  • Détection par électrons rétro-diffusés (BSD) et électrons secondaires (SE)
  • contact : Thierry Meylheuc
  • S4500 de chez Hitachi, localisé sur le Pôle microscopie µ3A (Montfavet, Avignon)
  • Emission : Canon à électrons (FEG), 30 kV, vide conventionnel HV, porte-objet conventionnel
  • Détection par électrons rétrodiffusés (BSD) et électrons secondaires (SE)
  • contact : Thierry Meylheuc
  • 1450VP de chez LEO, localisé sur la plateforme SilvaTech (Champenoux - Nancy)
  • Emission : Tungstène (W) de 0,5 à 30 kV, vide conventionnel HV et pression contrôlée < 400 Pa, porte-objet conventionnel et platine à effet Peltier (DEBEN -50°C ;+50°C). Équipé d'un générateur de rayons X "focalisés " (tube poly capillaire dans MEB)
  • Détection par électrons rétro-diffusés (BSD), électrons secondaires (SE) et en pression variable d'électron secondaire (VPSE). Spectromètre sélectif en énergie (EDS) SDD XMAX 80 mm² (Oxford instruments) et sélectif en énergie en émission X (EDX) et spectromètre dispersif en longueur d'ondes (WDS) INCA WAVE (Oxford Instruments)
  • Logiciel de gestion des micro-analyses EDS+WDS  INCA ENRGY+ (Oxford Instruments)
  • contact : Christophe Rose

Date de modification : 24 janvier 2024 | Date de création : 27 février 2020 | Rédaction : Camille Rivard